一、精密加工局域温度控制技术研究（论文文献综述）
徐梓铨[1]（2021）在《基于相变材料复合光子结构的热辐射调控》文中提出热辐射是一种广泛存在的物理现象,是一个因“热”而生“光”的过程。其中,红外波段的热辐射广泛存在于自然环境中,在辐射热管理、热成像、遥感探测等领域有着重要作用。近十年来,随着微纳光子学领域研究不断深入以及微纳加工手段的快速发展,从光学薄膜、光栅结构到光子晶体与超表面,各种新颖的光学结构被应用到基于微纳光子学的热辐射器件设计当中。目前的热辐射调控器件多属于静态调控,即通过微纳光子学结构的设计来调控器件的热辐射特性,在结构加工完成后即具有确定的热辐射特性而不再改变。作为引入动态调控功能的手段,相变材料以其在外部激励下发生相态转变后带来的巨大的电学以及光学特性的变化,被广泛应用于动态可重构的电子与光子器件中。但是,由于相变材料光学参数变化完全依赖材料自身属性,其在变化幅度、变化趋势等方面通常不能直接满足热辐射调控目标要求。因此,必须通过恰当的微纳光子学结构设计来充分利用相变材料在相态转变过程中的光学参数变化,拓展热辐射调控器件的光谱调控范围。为了拓展热辐射调控器件在红外信息相关场景的应用,针对热辐射的空间特性进行调控也成为迫切需求。基于上述要求,本文依托易失性的VO2和非易失性的Ge2Sb2Te5（GST）两种相变材料,从辐射光谱的动态可重构调控以及空间分布特性调控两方面入手,设计制备了具有相应功能的热辐射器件,并从理论与实验角度进行了分析论证。在基于易失性的相变材料VO2的热辐射动态调控方面,本文提出了 一种辐射率动态可调兼具空间调控能力的器件。通过将VO2与平面光学谐振腔集成,增强了 VO2相变导致的光学特性改变对于器件吸收与辐射特性的影响,在8-14μm大气透射窗口波段实现了平均辐射率0.19到0.91的动态切换;利用VO2相变过程的迟滞效应,展示了利用热学与光学手段实现光谱辐射率切换,并实现至少9级光谱辐射率中间状态的取得与保持;通过引入激光直写的手段,展示了基于VO2的热辐射动态调控器件在热辐射空间调控场景下,应用于红外目标仿真等场合的巨大潜力。在基于非易失性的相变材料GST的热辐射动态调控方面,本文提出了一种辐射率大范围动态可调、具备热辐射空间调控能力以及可见外观-红外热辐射特性协同可调控的器件。通过将相变材料GST引入光学谐振腔,仅25 nm厚的GST的相态切换带来的光学参数变化得到充分利用,最终实现了在8-14 μm大气透射窗口波段光谱辐射率峰值在0.10到0.70之间的切换;利用激光直写相变超表面的方式,实现了光谱辐射率至少8级的多级控制;利用聚焦纳秒脉冲激光局域加热方式,在辐射器表面实现了亚微米级凸起结构的可控制备,在不影响红外热辐射特性的前提下对热辐射器件的可见光外观进行了有效控制,并展示了该器件作为可见-红外双波段防伪标签的应用。本文通过设计制备结合相变材料与光子结构的热辐射调控器件,并引入激光直写方式实现相变材料相态切换,研究了相变材料的相态切换过程对于光学谐振的影响与调控,实现了易失性与非易失性的热辐射空间特性的调控,而且通过激光脉冲对表面形貌与相变状态的协同调控实现了可见-红外波段散射-辐射特性的独立控制。上述成果加深了对于复合相变材料的光子结构在微纳光子学等领域认知,在热辐射与能源、信息、安全等相关场景下展现广阔的应用前景。
李亮[2]（2021）在《低品位高钙镁钛渣碳热氯化的基础及应用研究》文中提出四氯化钛（TiCl4）是制取金属钛、钛白粉的必需原料,是钛产业链中重要中间产品。我国是世界上钛资源储量大国,但资源特点在于原料中Ti O2品位低;冶炼的低品钛渣因钙、镁杂质含量高而无法直接用于沸腾氯化工艺生产TiCl4。高钙镁钛渣用于熔盐氯化工艺制备TiCl4是目前为止我国钛资源高效开发利用最有效的方法,但仍存在碳热氯化反应机理与熔盐物性尚不明确等科学问题、以及钛渣中各组分选择氯化规律和反应过程稳定控制等应用问题。本文针对以上关键问题系统开展了低品位高钙镁钛渣物料特性、钛渣碳热氯化多相反应热力学、碳热氯化过程分子动力学模拟及反应机理、NaCl基熔盐体系物性及工业实践应用等系列研究,实现了低品位高钙镁钛渣的高效高值利用,具有重要学术意义与工业实用价值。对低品位高钙镁钛渣物料特性及其碳热氯化热力学研究结果表明:该类型钛渣主要由黑钛石相、金红石组成,黑钛石中掺杂了Mg、Ca、Al、Si、Mn等杂质元素。在700℃～800℃条件下,钛渣碳热氯化过程中有可能主要发生26个反应,各组分的碳热氯化趋势为:Ca O>Fe2O3>Fe3O4>Fe O>Mg O>Fe2Ti O5>V2O5>Ca O*Ti O2>Mn O>Fe Ti2O5>Mg Ti2O5>Ti O2>Al2O3>Si O2。氯化产物中的SiCl4、VOCl3、TiCl4、AlCl3、FeCl3挥发性极强,将进入粗TiCl4产品中,可进一步分离去除;而FeCl2、MnCl2、MgCl2、CaCl2的饱和蒸气压值较小,将进入氯化残渣中,为实现低品位高钙镁钛渣选择性氯化提钛提供了理论依据和基础。采用第一性原理分子动力学模拟手段对钛渣中M3O5型黑钛石、金红石TiO2、CaO以及中间产物COCl2的氯化过程行为进行模拟计算研究。金红石Ti O2的碳氯化动力学模拟结果表明:氯化过程中Cl原子为重要的中间产物、在C表面形成的Cl原子是活性氯的重要来源,氯化过程中C首先将Ti O2表面Cl2分子解离、Cl原子与Ti成键,但仅在C、Cl原子的共同作用下才能打破Ti O2体系中Ti-O键,吸附态的C夺走表层Ti O2中的O形成CO、CO2分子,而聚集态C难以从Ti O2体系中夺走O原子。Mg Ti4Fe O10的碳氯化模拟结果表明:Cl2可在C及Ti原子表面解离,而Mg对Cl2的解离并无作用。解离后的Cl原子优先与Mg和Fe成键,导致镁和铁氧化物的优先氯化,Mg Ti4Fe O10晶体结构发生断裂,使得钛渣中黑钛石相较金红石Ti O2相更易氯化。中间产物COCl2不能稳定存在,将吸附于金红石上解离出CO和Cl原子,作为氯源之一继续发生氯化反应;Ca O在Cl原子和C原子的作用下Ca-O键断裂,O被C夺走生成CaCl2。动力学模拟研究揭示了低品位高钙镁钛渣的碳热氯化微观行为规律。对多元NaCl-MgCl2-FeCl2-CaCl2的复合熔盐体系相图及密度、粘度、表面张力等物性开展了系统研究,结果表明:700℃～800℃内可形成低熔点均相混合熔盐体系,NaCl基熔盐体系有较宽的MgCl2、CaCl2容纳能力;体系密度随CaCl2、MgCl2增加而增大,随NaCl含量增加而减少;体系粘度随CaCl2、MgCl2增加而增大;体系表面张力随温度的升高而降低。结合实验研究结果确立获得钛渣碳热氯化用熔盐体系中较佳组分为:MgCl2含量<26.3%、CaCl2含量<10%、NaCl含量>38.5%,可指导生产实践应用。在理论研究基础上开展了熔盐介质中低品位高钙镁钛渣碳热氯化实验研究,获得了各组元氯化率的影响因素及规律:钛渣中各组分氯化率随温度升高、氯化时间延长、配碳比增大、钛渣粒度的降低、氯气浓度增大而增加。实验确立的较优的碳热氯化工艺参数为:熔盐温度750℃～780℃、氯化时间>60min、氯气浓度为85%～90%、C:Ti O2质量比为0.2～0.25。各组元对应氯化率为Ti-96.1%、Ca-98.5%、Mg-98.3%、Fe-99%、V-97.8%、Mn-97.6%、Al-61%、Si-2.3%,氯化后残渣主要由残留C、难氯化的Al2O3与Si O2组成,实验结果与热力学分析结论吻合。结合实验与分子动力学模拟结果,提出NaCl基熔盐介质中低品位高钙镁钛渣碳热氯化反应机理,碳热氯化过程主要包含四个阶段:（1）Cl原子的解离;（2）黑钛石中能优先于Ti O2碳热氯化的Ca、Mg、Fe、Mn等组元的选择性氯化;（3）Ti O2的碳热氯化;（4）难氯化组分Al/Si氧化物的选择氯化。在碳热氯化过程中同时伴随O与游离的C反应生成CO2或CO,以及NaCl、Na2MgCl4为主的多组元混合熔盐体系的形成。通过开展熔盐氯化工业应用、氯化残渣与粗TiCl4产品表征、粗TiCl4净化提纯、精TiCl4的应用实践研究,进一步确立出了低品位高钙镁钛渣工业应用技术方案。碳热氯化应用过程能够实现熔盐温度、熔盐组分的稳定调控,粗TiCl4实际产量达90～102t/d,钛的氯化率达95.5%～97.6%,实际氯化效果较小型实验更佳。经沉降-除钒-精馏后所得精TiCl4纯度大于99.9%,成功用于OA级高品质海绵钛、氯化法钛白的生产制备,打通了我国低品位钛资源高效高值化应用途径。
曹洹[3]（2020）在《基于调制光场的光量子信息实验研究》文中提出量子力学是20世纪新兴学科,它的发展为世界带来了伟大的变革。量子物理的基本问题研究一直如火如茶。量子信息是关于信息学和量子物理的新兴交叉学科,量子通讯、量子计算的发展成为当前阶段推动人类文明发展的重要手段。线性光学系统作为一个最早和最成熟的用于实现量子通讯,量子计算实验方案的系统,具有良好的发展前景。并且也是研究量子物理基本问题的非常有效的平台。对于量子态的制备,测量和操控,以及量子态与周围环境的可控操作,在量子物理研究中扮演着重要角色。光场调控为线性光学系统进行量子信息处理提供了有效的手段。本文主要基于调控光场来进行量子态的制备、测量,以及开放系统演化中系统-环境态的塑造,从而在光子系统上实现特定的量子信息任务。其主要内容包括:1.搭建了适合于长距离纠缠传输的基于PPKTP晶体的高维轨道角动量纠缠源,具有88.8%的高保真度,以及100G的窄带宽。设计并实现了轨道角动量模式色散预补偿装置,在此基础上实现了一公里三维轨道角动量纠缠的传输且验证了高维非局域性,传输后量子态仍保持71%保真度。根据光纤中的噪声类型,我们给出了进一步扩展维度和距离的方案。2.设计了基于衍射效率调制的频谱塑造装置,利用该装置来实现开放系统演化中系统态与环境态的制备,进而模拟任意开放系统消相干演化。并且我们通过特定的光路设计,实现对开放系统演化的过去-未来关联性测量,为量子马尔科夫性研究提供了有益的思路。3.我们利用三明治型Beamlike纠缠源进行多光子纠缠态的制备,并研究了对称（W妒）和非对称（star）态的量子关联和量子相干性在马尔科夫消相干信道下的演化,探究不同关联的鲁棒性,并展示了在单粒子消相干的情况下反映的多体关联结构性。探究不同关联在噪声环境中的演化对于不同量子资源在特定量子任务中的应用具有指导意义。4.模拟实验数据分析了在高斯型衰减的非马尔科夫消相干环境下的量子精密测量方案的可行性。展示了量子非马尔科夫性资源在量子精密测量中的应用。通过粒子数从N=1到N=6多光子GHZ态的制备,展示了对于初始时刻具有高斯型衰减的量子芝诺效应的演化,其最佳频率估计精度的尺度关系介于标准量子极限与海森堡极限之间,称为芝诺极限。
吕亚玲,杨晓红[4]（2004）在《现代先进制造技术的趋势——精密与超精密》文中进行了进一步梳理较为全面地阐述了现代先进制造技术在加工精度方面的现状,指出要真正实现超精密加工还需要作出的努力。
张日升,李尚政,刘宏,陈东生[5]（2003）在《精密加工局域温度控制技术研究》文中研究表明论述了精密加工环境和工件温度控制的必要性,提出了一种成本较低的变频空调系统和切削液恒温喷雾冷却系统的设计方案,同时对加工系统温度的监测进行了探讨。
张日升,李尚政,刘 宏,陈东生[6]（2002）在《精密加工局域温度控制技术研究》文中研究指明论述了精密加工环境和工件温度控制的常用方法,提出了一种成本较低的变频空调系统和切削液恒温喷雾冷却系统的设计方案.同时对加工系统温度的监测进行了探讨.
赵振男[7]（2020）在《基于FPGA的非制冷红外成像组件研究》文中研究表明红外成像技术以其独具的特点在军事与民用领域有着广泛的应用需求,近年来随着半导体集成技术以及制作工艺的快速提升,非制冷红外成像系统相较制冷红外成像系统存在着的不足得到快速提高,自身优势越发突出,在各行各业中得到快速推广应用。非制冷红外焦平面阵列探测器作为红外成像系统的核心,其特性指标制约着红外成像系统的性能上限,而基于此类探测器的红外成像组件是成像系统的主体,其硬件电路设计及非均匀性校正是充分展现探测器性能的关键,是红外成像系统应用开发的基础。论文结合省科技厅技术攻关项目需求,以高性能非制冷红外组件系统设计开发为目标,对非制冷红外成像系统、组件开发及非均匀性校正处理开展了深入研究。设计上采用了国产非制冷红外探测器,在对组件功能及参数性能分析的基础上,提出了基于FPGA为主核心处理器的红外成像组件设计方案;并对偏置电压、FPGA时序驱动、AD转换、数据采集、TEC温控、输出接口及系统电源等单元开展了具体的设计及仿真调试。由于探测器对噪声要求极高,所以在电源以及偏置电压设计上采用的是低噪声的LDO芯片和二阶低通滤波器相配合,避免高频噪声对电路的影响,并对电路的噪声进行了仿真;模数转换部分采用了14位的AD转换芯片AD9240,实现了快速高分辨率的图像信息采集;数据采集以及传输模块由FPGA配合Camera Link接口实现了数据传输和采集以及对相机的控制,并设计了VGA接口以方便与监视器连接;TEC温控电路以单片温度控制芯片为核心,确保探测器焦平面温度稳定。以此为基础,对非均匀性校正算法开展了研究,通过仿真分析对比了典型的非均匀性校正算法校正效果,提出了基于时域高通滤波的改进非均匀性校正算法,通过非均匀性测试对比,证实本文算法提高了接近5%的均匀度,能够很好的抑制图像的非均匀性以及“鬼影”,使得图像更加的清晰。最后通过对非制冷红外组件系统进行了性能测试,其噪声等效温差符合设计预期效果,满足设计要求。
鉴冉冉[8]（2019）在《场协同螺杆塑化过程流动特性与强化传热机理研究》文中研究表明聚合物塑化过程的强制对流和强化传热过程对聚合物的熔融与塑化具有至关重要的影响,而聚合物塑化均匀性又将直接影响最终制品质量和制品性能,材料塑化不均是导致精密制品缺陷的重要原因。因此对聚合物塑化过程热的有效管理和温差场均匀性的有效控制具有重要的现实意义。本文归纳总结了聚合物塑化理论和场协同原理在国内外的研究现状,并在此基础上,开展聚合物塑化过程流动与传热机理的基础研究,进一步提出了聚合物流动混合过程的熵增效应与聚合物流动传热过程的协同效应,并对该理论进行了详细阐述与论证。基于聚合物多场协同强化对流传热与高效塑化的新思路,创新设计新型扭转元件,通过数值计算、冷态可视化试验及热态多参数在线监测试验等手段对其混合与传热机理进行了探究,提出了场协同强化传热高效塑化的螺杆塑化新方法,解决塑化不均的难题,为聚合物精密成型及高性能材料的研发与应用提供理论指导,拓展了场协同理论在高黏度非牛顿流体强化传热领域的新知识。本文主要研究工作及创新点如下:（1）聚合物多场协同强化传热传质新方法及理论创新提出了聚合物流动混合过程的熵增效应与聚合物流动传热过程的协同效应。论证了粒子的无规化发展是引起混合的本质因素,包括位移无规化和粒径无规化;同时论证了速度场、剪切速率场、速度梯度场、温度梯度场等物理场之间的协同耦合关系;并验证了聚合物加工场协同理论的可行性,为指导螺杆结构设计提供了新的理论依据。创新设计了新型强化传热与高效混炼的扭转元件及场协同螺杆,分析了扭转元件的混合模型、传热模型和熔融模型。该扭转元件增加了粒子的物质熵和场协同性,即提高了流体的扰流和无规化程度,以及速度场与温度梯度场之间的协同性,对聚合物流体具有分流汇流和扭转翻滚的作用,有利于聚合物流体的混合与传热及其温度均匀性。（2）聚合物在扭转元件及场协同螺杆中的强化传质特性扭转元件的引入使聚合物在流道中获得了局部螺旋流/涡流,强化了流体径向传质,提高了聚合物熔体的混合和塑化性能,使聚合物熔体的温度分布、黏度分布等物性参数更加均匀,从而保证制品质量;场协同螺杆的混合性能优于常规螺杆,且扭转元件的排布对混合性能有较大影响,其中单个扭转元件与单一导程螺纹元件相间排列的螺杆混合性能最优。（3）聚合物在扭转元件及场协同螺杆中的强化传热机理扭转元件的引入提高了速度场与温度梯度场之间的协同性,具有很好的对流换热性能,达到了强化传热的目的。扭转元件数量和排布对聚合物熔融特性均有明显影响,其熔融过程符合瞬态熔融理论并能够显着改善径向温度均匀性;随着扭转元件数量或扭转元件分散程度的增加,对流换热性能有所改善。此外,场协同螺杆在不增加额外能耗的情况下,获得了比常规螺杆更优异的传热性能。场协同理论可以很好的解释聚合物加工领域非牛顿黏弹性流体的传热性能,运用场协同理论指导螺杆结构设计,为提高螺杆塑化系统塑化能力和传热效率提供了一种行之有效的方法,为解决螺杆塑化不均的问题开辟了新途径。（4）聚合物塑化过程中螺杆性能的综合评价体系建立建立了聚合物塑化过程中螺杆性能的综合评价体系,通过混合、传热、塑化、能耗、协同等五个方面对螺杆的性能进行了定量分析,确定了混合评价因子、传热评价因子、塑化评价因子、能耗评价因子、协同评价因子,实现了螺杆性能的多目标决策和综合评价,为定量评估螺杆对聚合物塑化过程性能的影响力水平,开辟了一条新的道路。（5）场协同螺杆在聚合物微孔发泡、纤维增强复合材料领域的应用采用自主设计的场协同螺杆,成功制备了泡孔尺寸在100μm以下的化学发泡泡沫材料,泡孔尺寸在10μm以下的物理发泡泡沫材料,以及平均纤维长度在500μm以上的回收碳纤维增强聚丙烯复合材料。综上,本文针对聚合物塑化过程温度调控和热管理问题,以螺杆结构为切入点,创新提出聚合物多场协同强化对流传热与高效塑化新方法及新结构,对聚合物螺杆塑化系统优化设计具有借鉴意义,为解决螺杆塑化不均等问题开辟了新途径。
葛励成[9]（2019）在《基于铌酸锂薄膜的微纳光子器件研究》文中进行了进一步梳理传统的以电子为媒介的芯片系统将人们带入了信息与互联网的时代,数十年蓬勃的发展过后,一方面随着摩尔定律与香农定律逐渐逼近极限,信息载体的存储密度与运算速度的提升愈发困难。另一方面,随着物联网与5G的新纪元崭露头角,人们对信号的传播、调制、探测各方面都提出更高的要求。光子,相比于电子有更快的响应速度,在信息传输方面有大容量、低串扰的优势。随着微纳加工技术的不断进步,以光子为媒介的集成光学芯片逐渐从理论走向实践,硅基的光子学芯片技术已经较为成熟,并逐渐出现在大规模的商用舞台。铌酸锂被誉为“光学中的硅”。它对光有声、光、电、热各个方面的响应,是一种优秀的光学芯片基底材料。随着铌酸锂薄膜的出现,将光场束缚在亚微米尺度的结构中成为可能,引发了铌酸锂领域的一场革命。本文中,我们首先对铌酸锂各方面的性质进行简要介绍,然后重点回顾基于铌酸锂薄膜上主要的微纳器件及其制备方法。现有的半导体加工技术在铌酸锂的图形化、刻蚀、金属薄膜等方面已经有了重要进展,为以后直接制备铌酸锂基集成光学芯片打下坚实的工艺基础。飞秒激光因为具有极高的峰值功率,极小的热影响区域,是精密加工的一种重要手段。而波导和微腔是光芯片中的重要构件,在第二章中我们利用飞秒激光在体介质铌酸锂中加工了II型波导,并利用飞秒激光与聚焦离子束相结合的方法制备了品质因子高达105的铌酸锂和钽酸锂光学微腔。我们还利用飞秒激光诱导的“光致退火”效应进一步修复制备过程中损伤的铌酸锂晶格,使得微腔的品质因子得到一个数量级的提升。非线性模块也是集成光学芯片的重要组成部分。本文第四章总结了集成波导和微腔中的非线性相位匹配方式。铌酸锂波导中主要通过周期性调制非线性极化率或者光强实现准相位匹配,从而得到高效的倍频输出。而铌酸锂微腔由于其本身对光场有很强的增益,相位匹配条件相对宽松,可以通过自然相位匹配或者循环相位匹配实现非线性过程。实验上,我们在铌酸锂微盘腔中实现了效率约为2.36×10-6/mW的倍频输出,在钽酸锂微盘腔中得到了效率约为1.22×10-6/mW的倍频输出。不同结构、不同材料相互结合,各取所长发挥自身优势也是集成光学芯片的重要研究部分。非线性过程另一个重要的考虑因素是带宽。宽带的非线性过程在超短脉冲频率转换、波分复用系统甚至未来的量子通讯网络中都有重要的应用。在第五章,我们理论分析了实现宽带频率转换需要同时满足相位匹配和群速度匹配,通过将周期性极化的铌酸锂制作成亚微米结构的薄膜,引入波导色散调控,使其在满足相位匹配的同时可以满足群速度匹配,理论上给出了倍频中心波长和薄膜厚度的对应关系。实验上,我们制备了周期20μm,厚度700nm的周期性极化铌酸锂薄膜,利用五阶相位匹配和群速度匹配,在通讯波段得到了带宽15nm左右的倍频输出。
李裕培[10]（2019）在《金/绒面硅肖特基结的制备与近红外光电探测特性研究》文中指出硅是目前应用最广泛的半导体材料,具有成本低、机械性能好、能与目前成熟的CMOS工艺高度兼容等优点,为光子和微电子的片上集成提供了重要的平台。但对于传统硅基光电探测器而言,由于硅材料禁带宽度的限制（1.12eV）,无法利用硅材料自身的光伏效应实现大于1100nm波长的近红外光电探测。因此,能与CMOS工艺兼容的硅基近红外光电探测器受到了研究者们的广泛关注。其中,利用金硅界面肖特基结中产生光生热电子的内光电效应被认为是一种极具前途的方法,这意味着限制硅响应波段的因素由硅的禁带宽度变为金硅接触后较低的肖特基势垒高度（0.7eV）。但不幸的是,由于金属的高反射率导致光致直接激发的内光电效应器件近红外响应度很低。表面等离激元光子学的出现为该问题提供了一种可行的解决方法。研究人员们提出用表面等离激元金属微纳结构实现局域场增强,提高内光电效应器件在近红外波段的吸收。此外,与光致直接激发的热电子相比,等离激元诱导激发的热电子具有更高的激发效率和能量。但是,大多等离激元结构需要昂贵的精密光刻技术,限制了其大规模、低成本的工业应用。本论文通过湿法腐蚀工艺和薄膜沉积工艺,设计并制备了金纳米薄膜与微米级绒面硅金字塔复合结构的肖特基结内光电效应近红外硅基光电探测器,并从光学和电学两个角度优化了其近红外光电响应度,为开发低成本、无需精密光刻工艺的新型近红外硅基光电探测器提供了理论指导和实验验证。本论文主要获得的研究成果如下:（1）利用低成本的化学腐蚀法大规模制备了单晶硅金字塔绒面基底,并详细研究了工艺参数（反应时间、反应温度、制绒添加剂）对绒面制备的影响。最终,在含2%wtNaOH、2%wtNa2SiO3、8%vol IPA混合溶液中,80°恒温腐蚀35分钟,可制备出分布均匀且致密,尺寸约为3μm的优质绒面。（2）实现了金/绒面硅肖特基结的制备,通过其暗态下的正向电流电压数据,拟合计算得出,表面处理后的绒面硅仍与金保持良好的肖特基接触,势垒高度φns=0.687eV,理想因子n=1.51。（3）实现了金/绒面硅肖特基结在1310nm下的近红外光电探测,并验证了热电子均来自于金中激发的热电子。通过对绒面结构和热电子激发空间位置（入射方向）的优化,背面入射的金/绒面硅样品在1200nm下的零偏响应度为5.4mA/W,是没有等离激元金属微纳结构的金/平面硅对照样品的近10倍。最后根据实验结果和仿真理论解释,验证了内光电效应的经典三步模型。
二、精密加工局域温度控制技术研究（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、精密加工局域温度控制技术研究（论文提纲范文）
（1）基于相变材料复合光子结构的热辐射调控（论文提纲范文）
| 致谢 |
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 缩写列表 |
| 1 绪论 |
| 1.1 本课题研究背景与意义 |
| 1.2 热辐射调控研究现状 |
| 1.2.1 基于微纳光子结构热辐射调控研究现状 |
| 1.2.2 动态热辐射调控研究现状 |
| 1.2.3 空间热辐射调控研究现状 |
| 1.2.4 动态空间协同热辐射调控研究现状 |
| 1.3 相变材料相态调控研究现状 |
| 1.3.1 电激励相态调控研究现状 |
| 1.3.2 光激励相态调控研究现状 |
| 1.4 本论文研究目的 |
| 1.5 本论文研究内容与创新点 |
| 2 热辐射调控研究方法 |
| 2.1 热辐射理论基础 |
| 2.2 热辐射调控研究计算方法 |
| 2.2.1 传输矩阵法(TMM) |
| 2.2.2 时域有限差分法(FDTD) |
| 2.2.3 有限元法(FEM) |
| 2.3 热辐射调控器件加工与表征 |
| 2.3.1 加工制备 |
| 2.3.2 形貌表征 |
| 2.3.3 吸收与辐射表征 |
| 2.4 用于热辐射空间调控的激光直写装置 |
| 2.5 本章小结 |
| 3 基于相变材料VO_2热辐射调控 |
| 3.1 相变材料VO_2光学特性 |
| 3.2 基于相变材料VO_2热辐射器结构与加工 |
| 3.3 基于相变材料VO_2热辐射器红外特性 |
| 3.3.1 吸收与辐射特性 |
| 3.3.2 热辐射多级调控 |
| 3.3.3 热辐射空间调控 |
| 3.3.4 热辐射持久性测试 |
| 3.4 基于相变材料VO_2热辐射器物理机制研究 |
| 3.5 基于相变材料VO_2热辐射器红外目标仿真应用 |
| 3.6 本章小结 |
| 4 基于相变材料GST热辐射调控 |
| 4.1 相变材料GST光学特性 |
| 4.2 基于相变材料GST热辐射器结构与加工 |
| 4.3 基于相变材料GST热辐射器光学特性 |
| 4.3.1 吸收与辐射特性 |
| 4.3.2 可重构热辐射调控 |
| 4.3.3 可见光散射特性调控 |
| 4.3.4 热辐射与可见光散射协同调控 |
| 4.4 基于相变材料GST热辐射器物理机制研究 |
| 4.5 基于相变材料GST热辐射器可见/红外双波段防伪应用 |
| 4.6 本章小结 |
| 5 总结与展望 |
| 参考文献 |
| 作者简介 |
| 攻读博士期间所取得的科研成果 |
（2）低品位高钙镁钛渣碳热氯化的基础及应用研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 钛资源分布及特点 |
| 1.1.1 全球钛资源分布 |
| 1.1.2 中国钛资源特点分析 |
| 1.1.3 钛资源的主要利用途径 |
| 1.2 四氯化钛的需求及工艺技术现状 |
| 1.2.1 四氯化钛的需求分析 |
| 1.2.2 沸腾氯化法制备四氯化钛工艺技术现状 |
| 1.2.3 熔盐氯化法制备四氯化钛工艺技术现状 |
| 1.2.4 高温碳化-低温氯化制备四氯化钛工艺技术现状 |
| 1.3 钛渣碳热氯化基础研究进展 |
| 1.3.1 钛渣氯化热力学及反应机理研究现状 |
| 1.3.2 氧化物碳热氯化分子动力学模拟研究进展 |
| 1.3.3 氯化物熔盐体系物性研究现状 |
| 1.4 论文研究意义、内容与研究方法 |
| 1.4.1 论文研究意义 |
| 1.4.2 论文主要研究内容 |
| 1.4.3 论文研究方法 |
| 第二章 低品位高钙镁钛渣特性及碳热氯化热力学 |
| 2.1 低品位高钙镁钛渣原料特性研究 |
| 2.1.1 钛渣化学组成分析及粒度 |
| 2.1.2 低品位高钙镁钛渣物相分析 |
| 2.1.3 低品位高钙镁钛渣扫描电镜分析 |
| 2.1.4 低品位高钙镁钛渣矿物解离MLA分析 |
| 2.2 低品位高钙镁钛渣碳热氯化热力学 |
| 2.2.1 碳热氯化热力学理论基础 |
| 2.2.2 M-O-Cl体系化学反应热力学 |
| 2.2.3 M-C-O-Cl体系化学反应热力学 |
| 2.2.4 M-O-Cl体系优势区图分析 |
| 2.2.5 氯化过程有机物生成热力学 |
| 2.2.6 氯化产物热力学行为分析 |
| 2.3 本章小结 |
| 第三章 低品位高钙镁钛渣碳热氯化分子动力学模拟研究 |
| 3.1 动力学模拟计算VASP软件简介 |
| 3.2 具体计算方法 |
| 3.3 模拟计算结果与讨论 |
| 3.3.1 金红石碳热氯化过程动力学模拟 |
| 3.3.2 MgTi_4FeO_(10)的碳热氯化动力学模拟 |
| 3.3.3 COCl_2在TiO_2和MgTi_4FeO_(10)表面的行为研究 |
| 3.3.4 CaO的碳热氯化动力学模拟 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 钛渣氯化用NaCl-MgCl_2-CaCl_2熔盐体系物性研究 |
| 4.1 熔盐体系组成分析 |
| 4.2 熔盐物性研究实验原理及方法 |
| 4.2.1 密度的测量原理及方法 |
| 4.2.2 粘度的测量原理及方法 |
| 4.2.3 表面张力的测量原理及方法 |
| 4.2.4 实验用主要原料 |
| 4.3 实验结果与讨论 |
| 4.3.1 熔盐体系密度测试结果分析 |
| 4.3.2 熔盐体系粘度测试结果分析 |
| 4.3.3 熔盐体系表面张力测试结果分析 |
| 4.4 熔盐体系的优选 |
| 4.5 本章小结 |
| 第五章 低品位高钙镁钛渣碳热氯化实验及反应机理研究 |
| 5.1 实验方法及原料 |
| 5.1.1 实验方法 |
| 5.1.2 实验原料 |
| 5.2 实验结果与讨论 |
| 5.2.1 氯化温度的影响 |
| 5.2.2 氯化时间的影响 |
| 5.2.3 钛渣粒度的影响 |
| 5.2.4 还原剂种类及配比的影响 |
| 5.2.5 氯气浓度的影响 |
| 5.2.6 低品位高钙镁钛渣碳热氯化工艺参数优选 |
| 5.3 钛渣碳热氯化过程熔盐及残渣表征 |
| 5.3.1 氯化过程熔盐表征 |
| 5.3.2 氯化过程未反应残渣表征 |
| 5.4 钛渣碳热氯化反应机理 |
| 5.5 本章小结 |
| 第6章 低品位高钙镁钛渣碳热氯化工业试验研究 |
| 6.1 熔盐中碳热氯化工业试验研究 |
| 6.1.1 氯化工艺及设备 |
| 6.1.2 氯化过程温度调控 |
| 6.1.3 氯化过程的熔盐组成调控 |
| 6.1.4 工业试验氯化残渣表征 |
| 6.2 粗四氯化钛产品表征 |
| 6.3 粗四氯化钛的净化提纯 |
| 6.3.1 粗四氯化钛沉降效果分析 |
| 6.3.2 粗四氯化钛中溶解性杂质的去除 |
| 6.4 精四氯化钛的应用 |
| 6.4.1 精TiCl_4在海绵钛生产中的应用 |
| 6.4.2 精TiCl_4在钛白生产中的应用 |
| 6.5 低品位高钙镁钛渣工业应用技术方案与前景分析 |
| 6.6 本章小结 |
| 第七章 结论与展望 |
| 7.1 结论 |
| 7.2 创新点 |
| 7.3 展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 附录 攻读学位期间取得的代表性成果 |
（3）基于调制光场的光量子信息实验研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 第2章 光子的轨道角动量 |
| 2.1 光子轨道角动量的背景 |
| 2.2 拉盖尔-高斯光束 |
| 2.3 轨道角动量光束的制备、测量和应用 |
| 2.3.1 轨道角动量光束的制备 |
| 2.3.2 光子轨道角动量的测量 |
| 2.3.3 光子轨道角动量的应用 |
| 第3章 参量下转换过程 |
| 3.1 参量下转换光场量子态 |
| 3.2 普通Ⅰ型和Ⅱ型相位匹配纠缠源 |
| 3.2.1 type-Ⅰ型纠缠源的制备 |
| 3.2.2 type-Ⅱ型纠缠源的制备 |
| 3.2.3 准相位匹配和周期性极化晶体 |
| 3.3 三明治型beam-like纠缠源的搭建 |
| 第4章 高维轨道角动量纠缠分发 |
| 4.1 OAM纠缠分发已取得的相关成果 |
| 4.1.1 自由空间OAM纠缠分发 |
| 4.1.2 光纤OAM纠缠分发 |
| 4.2 OAM纠缠分发实验方案 |
| 4.2.1 OAM纠缠源的制备 |
| 4.2.2 SLM的校正以及相位-强度调制OAM光栅编写 |
| 4.2.3 光纤模式理论 |
| 4.2.4 实验装置及实验结果 |
| 4.2.5 进一步距离和维度扩展方案 |
| 4.3 小结 |
| 第5章 基于过去-未来关联的量子马尔科夫性探究 |
| 5.1 量子马尔科夫性的判定 |
| 5.1.1 经典马尔科夫性与量子马尔科夫性 |
| 5.1.2 基于信息流的BLP量子马尔科夫性判据 |
| 5.1.3 基于映射可分性的RHP量子马尔科夫性判据 |
| 5.2 我们的方案 |
| 5.3 可控开放系统消相干演化信道的模拟 |
| 5.4 实验内容及结果 |
| 5.4.1 高斯频谱 |
| 5.4.2 洛伦兹频谱 |
| 5.4.3 双峰高斯频谱 |
| 5.5 小结 |
| 第6章 多体量子关联和相干性在消相干环境的实验研究 |
| 6.1 多体系统中量子相干性分布 |
| 6.1.1 量子相干性度量 |
| 6.1.2 多体系统中量子相干性分布 |
| 6.2 多光子系统量子关联和相干性演化实验 |
| 6.2.1 实验装置和态制备 |
| 6.2.2 实验结果 |
| 6.3 小结 |
| 第7章 非马尔科夫消相干环境下多光子量子精密测量 |
| 7.1 量子精密测量 |
| 7.2 消相干环境下的量子精密测量 |
| 7.2.1 实际实验噪声水平下可行性分析 |
| 7.2.2 多光子GHZ态制备和演化 |
| 7.3 小结 |
| 第8章 总结与展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 |
（7）基于FPGA的非制冷红外成像组件研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 研究的背景及意义 |
| 1.2 国内外红外成像技术研究现状 |
| 1.2.1 制冷型红外成像技术发展现状 |
| 1.2.2 非制冷型红外成像技术发展现状 |
| 1.3 论文的工作内容和结构安排 |
| 第2章 红外成像原理及特性分析 |
| 2.1 非制冷红外成像原理 |
| 2.1.1 红外辐射理论 |
| 2.1.2 非制冷红外探测器 |
| 2.2 红外图像非均匀性影响因素分析 |
| 2.2.1 非均匀性定义 |
| 2.2.2 非均匀性产生的原因 |
| 2.3 非均匀性评价标准 |
| 2.4 噪声等效温差 |
| 2.5 本章小结 |
| 第3章 非制冷红外成像组件硬件电路设计 |
| 3.1 系统总体设计 |
| 3.2 驱动模块的设计与仿真 |
| 3.2.1 低噪声偏置电压模块设计 |
| 3.2.2 脉冲信号设计 |
| 3.3 模数转换模块设计 |
| 3.3.1 模拟信号调理电路 |
| 3.3.2 AD转换电路设计 |
| 3.4 温度控制模块设计 |
| 3.5 数据处理模块设计 |
| 3.5.1 FPGA芯片功能及选型 |
| 3.5.2 FPGA电源电路设计 |
| 3.5.3 FPGA配置电路 |
| 3.6 数据存储模块设计与仿真 |
| 3.6.1 DDR2电路设计 |
| 3.6.2 DDR2程序设计 |
| 3.7 Camera Link接口电路设计 |
| 3.7.1 Camera Link接口 |
| 3.7.2 Camera Link电路设计 |
| 3.8 VGA显示时序分析 |
| 3.9 组件系统电源设计 |
| 3.10 本章小结 |
| 第4章 红外图像非均匀性校正 |
| 4.1 常用非均匀性校正算法 |
| 4.1.1 两点定标法 |
| 4.1.2 多点定标法 |
| 4.1.3 定标校正算法总结 |
| 4.2 基于场景的非均匀性校正算法 |
| 4.2.1 时域高通滤波算法 |
| 4.2.2 “鬼影”成因与去除 |
| 4.3 传统的非局域均值滤波法 |
| 4.4 改进的非局域均值滤波法 |
| 4.4.1 结构相似性度量方法 |
| 4.4.2 富含梯度信息的改进算法 |
| 4.5 非均匀性校正算法实现 |
| 4.6 算法仿真与结果分析 |
| 4.6.1 滤波性能分析 |
| 4.6.2 非均匀性校正性能分析 |
| 4.7 本章小结 |
| 第5章 红外成像机芯组件调试 |
| 5.1 硬件调试 |
| 5.1.1 电源测试 |
| 5.1.2 温控模块调试 |
| 5.1.3 FPGA功能仿真 |
| 5.2 程序调试 |
| 5.3 系统整体测试 |
| 5.4 本章小结 |
| 第6章 总结 |
| 参考文献 |
| 附录A |
| 攻读学位期间取得的成果 |
| 致谢 |
（8）场协同螺杆塑化过程流动特性与强化传热机理研究（论文提纲范文）
| 学位论文数据集 |
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 符号说明 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 研究背景 |
| 1.2 聚合物塑化理论概述 |
| 1.2.1 聚合物塑化系统的发展 |
| 1.2.2 聚合物塑化混合理论 |
| 1.2.3 聚合物塑化传热理论 |
| 1.3 塑化过程的强化传质研究现状 |
| 1.4 塑化过程的强化传热研究现状 |
| 1.5 多场协同理论研究现状 |
| 1.5.1 多场耦合及场协同原理 |
| 1.5.2 牛顿流体域的多场协同问题 |
| 1.5.3 非牛顿流体域的多场协同问题 |
| 1.6 本课题研究路线、研究内容与创新点 |
| 1.6.1 研究路线 |
| 1.6.2 研究内容 |
| 1.6.3 研究创新点 |
| 第二章 聚合物塑化过程多场协同理论分析 |
| 2.1 聚合物流动混合过程的熵增效应 |
| 2.2 聚合物流动传热过程的协同效应 |
| 2.3 新型扭转元件及场协同螺杆设计 |
| 2.3.1 扭转元件流动模型 |
| 2.3.2 扭转元件传热模型 |
| 2.3.3 扭转元件熔融模型 |
| 2.4 扭转流动过程中的熵增效应分析 |
| 2.5 扭转流动过程中的协同效应分析 |
| 2.5.1 数值分析模型 |
| 2.5.2 速度场与速度梯度场的协同分析 |
| 2.5.3 速度场与温度梯度场的协同分析 |
| 2.5.4 速度梯度场与剪切速率场的协同分析 |
| 2.5.5 温度梯度场与剪切速率场的协同分析 |
| 2.6 小结 |
| 第三章 场协同螺杆塑化过程传热传质模拟研究 |
| 3.1 扭转流道模型及其性能分析 |
| 3.1.1 数值分析模型 |
| 3.1.2 传质与速度特性 |
| 3.1.3 熔融与温度特性 |
| 3.1.4 传热与协同特性 |
| 3.2 扭转元件与常用新型元件性能对比 |
| 3.2.1 数值分析模型 |
| 3.2.2 传质与速度特性 |
| 3.2.3 均质与混合特性 |
| 3.2.4 传热与温度特性 |
| 3.3 场协同螺杆单相流模型及传热性能分析 |
| 3.3.1 数值分析模型 |
| 3.3.2 温度分布特性 |
| 3.3.3 强化传质与速度特性 |
| 3.3.4 强化传热与协同特性 |
| 3.4 场协同螺杆单相流模型及混合性能分析 |
| 3.4.1 数值分析模型 |
| 3.4.2 混合能力 |
| 3.4.3 混合效率 |
| 3.4.4 塑化质量 |
| 3.5 场协同螺杆两相流模型及其性能分析 |
| 3.5.1 数值分析模型 |
| 3.5.2 两相流体熔融特性 |
| 3.5.3 强化传热与协同特性 |
| 3.6 小结 |
| 第四章 场协同螺杆塑化过程传热传质试验研究 |
| 4.1 场协同螺杆的强化传质可视化试验 |
| 4.1.1 冷态可视化试验装置的搭建 |
| 4.1.2 微颗粒在液体槽中的流动行为 |
| 4.1.3 微气泡在液体槽中的分散行为 |
| 4.2 传热传质试验平台及表征 |
| 4.2.1 热态多参数在线监测挤出系统搭建 |
| 4.2.2 试验原料及性能表征 |
| 4.3 场协同螺杆的强化混合性能 |
| 4.3.1 流动沿程分散相颗粒分布 |
| 4.3.2 挤出样条分散相颗粒分布 |
| 4.3.3 停留时间分布 |
| 4.4 场协同螺杆的强化传热性能 |
| 4.4.1 对流换热系数 |
| 4.4.2 径向温度分布 |
| 4.5 场协同螺杆的能耗特性 |
| 4.5.1 设备比能耗 |
| 4.5.2 电机转动功率 |
| 4.6 小结 |
| 第五章 聚合物塑化螺杆性能多目标综合评价体系 |
| 5.1 塑化螺杆性能评价方法体系确立 |
| 5.2 塑化螺杆性能单一评价因子建立 |
| 5.2.1 混合评价因子 |
| 5.2.2 传热评价因子 |
| 5.2.3 塑化评价因子 |
| 5.2.4 能耗评价因子 |
| 5.2.5 协同评价因子 |
| 5.3 塑化螺杆性能综合评价因子建立 |
| 5.4 小结 |
| 第六章 场协同螺杆在微发泡领域的应用 |
| 6.1 场协同微发泡专用螺杆的设计开发 |
| 6.1.1 场协同螺杆设计 |
| 6.1.2 试验原料及设备 |
| 6.2 单螺杆挤出化学发泡 |
| 6.2.1 机头温度对泡孔质量的影响 |
| 6.2.2 成核剂对泡孔质量的影响 |
| 6.3 超临界流体挤出物理发泡 |
| 6.4 回收碳纤维增强复合材料 |
| 6.5 小结 |
| 第七章 总结与展望 |
| 7.1 总结 |
| 7.2 展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 研究成果及发表的学术论文 |
| 已发表论文 |
| 合作出版着作 |
| 申请及已授权专利 |
| 作者及导师简介 |
| 附件 |
（9）基于铌酸锂薄膜的微纳光子器件研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 铌酸锂晶体简介 |
| 1.2 铌酸锂薄膜的研究进展和应用 |
| 1.2.1 铌酸锂薄膜的结构和制备方法 |
| 1.2.2 基于铌酸锂薄膜的微纳器件 |
| 1.2.3 铌酸锂基的集成光学芯片 |
| 1.3 论文研究内容和创新点 |
| 第二章 飞秒激光直写铌酸锂波导和微腔 |
| 2.1 飞秒激光加工透明介质的原理 |
| 2.2 飞秒激光加工平台 |
| 2.3 飞秒激光直写光波导 |
| 2.4 飞秒激光直写铌酸锂微腔 |
| 2.5 飞秒激光直写钽酸锂微腔 |
| 2.6 本章小结 |
| 第三章 飞秒激光提高光学微腔品质因子 |
| 3.1 光学微腔简介 |
| 3.1.1 回音壁光学模式 |
| 3.1.2 回音壁微腔中的光学模式 |
| 3.1.3 回音壁微腔的基本参数 |
| 3.2 微腔光场耦合方案 |
| 3.2.1 倏逝波耦合理论 |
| 3.2.2 拉锥光纤的制备 |
| 3.3 飞秒激光提高微腔品质因子 |
| 3.3.1 提高微腔品质因子的方法 |
| 3.3.2 利用飞秒激光提高微腔品质因子 |
| 3.3.3 飞秒激光与微腔作用过程中的模式演化 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 光学芯片中的非线性频率转换器件 |
| 4.1 频率转换和相位匹配 |
| 4.1.1 二阶非线性频率转换 |
| 4.1.2 相位匹配方式 |
| 4.2 光学芯片中的非线性器件 |
| 4.2.1 波导中的频率转换 |
| 4.2.2 微腔中的频率转换 |
| 4.3 铌酸锂和钽酸锂微腔中的频率转换 |
| 4.3.1 铌酸锂微盘中的倍频实验与结果分析 |
| 4.3.2 钽酸锂微盘中的倍频实验与结果分析 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 基于周期性极化铌酸锂薄膜的宽带倍频研究 |
| 5.1 宽带频率转换 |
| 5.1.1 群速度匹配 |
| 5.1.2 周期性极化铌酸锂中的宽带倍频 |
| 5.2 基于周期性极化铌酸锂薄膜的宽带倍频 |
| 5.2.1 周期性极化铌酸锂薄膜中宽带倍频的理论分析 |
| 5.2.2 周期性极化铌酸锂薄膜的制备 |
| 5.2.3 周期性极化铌酸锂薄膜中的宽带倍频实验 |
| 5.3 本章小结 |
| 第六章 总结与展望 |
| 6.1 工作总结 |
| 6.2 未来工作展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 攻读学位期间发表的学术成果 |
（10）金/绒面硅肖特基结的制备与近红外光电探测特性研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 表面等离激元光子学 |
| 1.2.1 表面等离激元的发展及原理 |
| 1.2.2 表面等离激元的数值模拟方法 |
| 1.3 金属半导体肖特基结基本理论 |
| 1.3.1 肖特基结的形成条件 |
| 1.3.2 肖特基势垒理论模型 |
| 1.3.3 肖特基结电学特性及载流子输运机制 |
| 1.4 表面等离激元增强内光电效应理论 |
| 1.4.1 表面等离激元诱导激发热电子机制 |
| 1.4.2 表面等离激元增强内光电效应三步模型 |
| 1.5 表面等离激元增强金硅内光电效应近红外光电探测器 |
| 1.5.1 性能参数 |
| 1.5.2 响应度性能优化研究进展 |
| 1.6 本文的研究目的和主要内容 |
| 第二章 器件制备方法及表征手段 |
| 2.1 薄膜制备 |
| 2.1.1 真空热蒸发 |
| 2.1.2 磁控溅射 |
| 2.2 表征及测试手段 |
| 2.2.1 扫描电子显微镜 |
| 2.2.2 原子力显微镜 |
| 2.2.3 紫外/可见/近红外分光光度计 |
| 2.2.4 电学测试系统 |
| 2.3 本章小结 |
| 第三章 硅金字塔绒面基底的制备及相关研究 |
| 3.1 硅金字塔绒面结构在硅基近红外光电探测的应用 |
| 3.1.1 目前金硅近红外探测微纳结构的局限 |
| 3.1.2 硅金字塔绒面结构及其光学特性 |
| 3.2 单晶硅金字塔绒面结构制备与表征 |
| 3.2.1 单晶硅各向异性腐蚀机理 |
| 3.2.2 绒面基底制备流程及表征 |
| 3.2.3 实验试剂与仪器 |
| 3.3 工艺参数对绒面制备的影响 |
| 3.3.1 反应时间对绒面制备的影响 |
| 3.3.2 反应温度对绒面制备的影响 |
| 3.3.3 制绒添加剂对绒面制备的影响 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 金/绒面硅肖特基结近红外光电探测研究 |
| 4.1 器件的制备与表征 |
| 4.1.1 器件制备流程及理论模型 |
| 4.1.2 绒面硅基底上金薄膜的制备与形貌表征 |
| 4.2 金/绒面硅肖特基结的验证 |
| 4.2.1 金硅肖特基结电学特性 |
| 4.2.2 金硅肖特基结质量参数 |
| 4.3 器件的近红外光电探测特性 |
| 4.3.1 硅基底上ITO薄膜的制备 |
| 4.3.2 金硅肖特基结近红外光电响应特性 |
| 4.4 器件近红外波段光电响应度性能优化 |
| 4.4.1 绒面硅结构实现近红外响应增强及机理解释 |
| 4.4.2 热电子激发空间位置对近红外响应度的影响 |
| 4.4.3 金膜厚度对近红外响应度的影响 |
| 4.5 本章小结 |
| 第五章 总结与展望 |
| 5.1 论文工作总结 |
| 5.2 研究展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 作者简介 |
四、精密加工局域温度控制技术研究（论文参考文献）
- [1]基于相变材料复合光子结构的热辐射调控[D]. 徐梓铨. 浙江大学, 2021(01)
- [2]低品位高钙镁钛渣碳热氯化的基础及应用研究[D]. 李亮. 昆明理工大学, 2021(02)
- [3]基于调制光场的光量子信息实验研究[D]. 曹洹. 中国科学技术大学, 2020(01)
- [4]现代先进制造技术的趋势——精密与超精密[J]. 吕亚玲,杨晓红. 机械制造, 2004(10)
- [5]精密加工局域温度控制技术研究[J]. 张日升,李尚政,刘宏,陈东生. 机械制造, 2003(05)
- [6]精密加工局域温度控制技术研究[J]. 张日升,李尚政,刘 宏,陈东生. 机械, 2002(S1)
- [7]基于FPGA的非制冷红外成像组件研究[D]. 赵振男. 长春理工大学, 2020(01)
- [8]场协同螺杆塑化过程流动特性与强化传热机理研究[D]. 鉴冉冉. 北京化工大学, 2019(01)
- [9]基于铌酸锂薄膜的微纳光子器件研究[D]. 葛励成. 上海交通大学, 2019(06)
- [10]金/绒面硅肖特基结的制备与近红外光电探测特性研究[D]. 李裕培. 东南大学, 2019(06)